| 본사 | (14118) 경기도 안양시 동안구 엘에스로 112 두림야스카와 빌딩 5,6층 |
| 화성 테크니컬센터 | (18468) 경기도 화성시 동탄대로 677-18 화성테크니컬센터 |
| 대구 로봇센터 | (42921) 대구광역시 달성군 다사읍 세천로7길 33 |
| 본사 | (14118) 경기도 안양시 동안구 엘에스로 112 두림야스카와 빌딩 6F |
| 화성 테크니컬센터 | (18468) 경기도 화성시 동탄대로 677-18 |
| 대구 로봇센터 | (42921) 대구광역시 달성군 다사읍 세천로7길 33 |
◆ Alignment 정밀도 70%이상의 개선, 고 정밀화를 실현
알고리즘과 구동 방식의 개선
◆ Alignment 시간 50%이상의 개선, 고속화를 실현
알고리즘의 개선
◆ 23 mm--Wafer 방향에 치수의 삭감을 실현
PA를 배치 하기 쉬움
아래 파일을 클릭하면 다운로드 됩니다.