반도체[Manual] SR200 CONTROLLER


①소형・경량화

기존 기종 대비 체적 42%、중량 35% Down

②확장성

확장 축 대응, 확장 보드 대응

③높은 신뢰성

실적과 경험을 통해 축척해온 Wafer 반송 기능 검증된 야스카와 M&C 제품 아키텍처 채용

④글로벌 규격 대응

UL、CE、SEMI、RoHSⅡ


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화성
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